在智能制造与工业4.0的浪潮下,精密3D量测技术作为产品质量控制与逆向工程的核心环节,正成为推动高端制造业发展的关键引擎。埃米仪器作为致力于国内精密3D量测设备的国产化,攻克核心技术。此前,埃米仪器完成数千万元Pre-A轮融资,博将资本领投。本轮融资将用于进一步提升先进半导体制程用的高精密量测设备的国产替代能力,丰富产品种类,加大市场开拓力度能力。

埃米仪器凭借在高精度光学测量、纳米级运动控制等核心技术的突破,正逐步填补国内在先进半导体制程量测设备领域的空白。博将资本的加持,将进一步加速埃米仪器的产品研发和市场拓展,助力其在国内乃至全球半导体检测设备市场占据更重要的地位。此次合作,博将资本不仅为埃米仪器提供了资金支持,更在战略资源、产业协同等方面带来深度赋能,有望推动中国精密3D量测技术迈向更高水平。

博将资本所投的埃米仪器已推出多款量测设备,并持续推出新型设备。其在线工业级原子力显微镜已完成某芯片头部企业的产品正式交付。技术方面,埃米仪器通过申请专利构筑技术壁垒:目前公司已得到专利授权20余项,相关专利覆盖原子力显微镜和光学量测设备,涉及光电器件、精密机械、定位系统、电气设计等。

埃米仪器创始人杨见飞博士拥有多年先进量测和封装设备研发经验。公司拥有一支强大的研发团队,目前已与南京大学、山东大学、南智光电研究院等国内外科研院所、机构建立密切合作关系。

博将资本该项目负责人陆元昊表示,量测设备未来将与光刻设备并行发展,发挥至关重要的作用,而原子力显微镜作为精度最高的量测设备,在先进制程中正在成为量检测主力设备。埃米仪器仅成立2年时间便成功研发出国内首台在线工业级原子力显微镜并已实现在某头部芯片客户交付。

随着在线工业级原子力显微镜的成功交付,以及20余项专利构筑的技术壁垒,埃米仪器不仅填补了国内空白,更在全球半导体检测领域崭露头角。未来,在博将资本的战略支持下,埃米仪器有望进一步拓展产品矩阵,助力中国半导体产业链迈向更高精度、更高自主可控的新阶段。

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